descum process中文

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Plasma ashing - Wikipedia

High temperature ashing, or stripping, is performed to remove as much photo resist as possible, while the "descum" process is used to remove residual photo ...

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UVAT Descum Plasma

ALL; Manufacturing Process; Manufacturer. English · 繁體中文 · 簡體中文 · にほんご · PRODUCTS PRODUCTS · Solution ... UVAT Descum Plasma. SHARE. 1 1 ...

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乾膜光阻去除 - 弘塑科技股份有限公司

乾膜光阻去除(PR stripping)製程一般使用Wet Bench批次設備,如圖2所示為弘塑科技所製造之300mm wafer全自動Wet Bench設備,前兩個製程槽(Process Tank) ...

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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識- 頁3

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晶圓級封裝凸塊介電層製程技術之改進 - 國立高雄應用科技大學

表面粗糙度(Surface Roughness),使用電漿去殘膠機(Descum)調整製程參數Ar ... “Descum stage recipe improve of WLCSP Bumping polymer process for PI2 ...

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晶圓級封裝凸塊介電層製程技術之改進__臺灣博碩士論文知識加 ...

本研究針對電鍍銅的表面粗糙度(Surface Roughness),使用電漿去殘膠機(Descum)調整製程參數Ar 蝕刻時間與RF power瓦數去增加 ... 論文名稱(外文):, The Study of the Enhancement for Bumping Dielectric Layer Process of Wafer ... 語文別: 中文.

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第一章緒論

利用H2SO4進行光阻去除. 蝕刻處理. 利用BOE化學液進行氧化層蝕刻. 表面預處理(Descum). 表面殘留物去除. 濕蝕刻製程. (Wet Etch). 下工程. Next Process. 非金屬 ...

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蝕刻技術

2. 嚴大任助理教授. 國立清華大學材料科學工程學系. Outline. ▫Introduction. ▫How to Control Etching Process? ▫Isotropic Wet Etching. ▫Anisotropic Wet Etching.

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電漿反應器與原理

Materials Processing, John Wiley & Sons, 1994. 4. M. Konuma, Film Deposition by Plasma Techniques, Springer-Verlag, 1992. 5. 洪昭南, 電漿反應器, 化工技術, ...

http://ebooks.lib.ntu.edu.tw