clear tone dark tone
依據製程與layout的差別,我們將光罩分為Bright field Dark tone如Oxide, poly layer,與Dark field bright tone如metal, via layer.簡單的想法就是, ...,tone就是光刻胶是正刻胶还是负刻胶的意思, clear是正的,即哪里有pattern,就etch哪里,如PO, AA , dark是反的,哪里没有pattern,etch哪里, ... , 為Bright field Dark tone如Oxide, poly layer,與Dark field bright tone如 metal, via layer.簡單的想法就是,以oxide為例,我們要將大部分的光阻都曝開,yjie62 发表于2012-4-11 14:32. 关于dark tone 和clear tone. 例如 dig area scrible line. PW dark clear. P1 dark clear. C1 clear dark 哪位大侠能解释下啊. , 光罩有兩種,陰刻陽刻Dark-field masks(Positive tone) 要成像的地方會透光Clear-field masks(Bright field,Negative tone) 要成像的地方不透光光 ...,我所了解的: 1. 只要是mask上的图案,肯定不透光,因为那个地方是铬。 2. layout上某层为dark表示该处不透光(即暗),所以对应到wafer上是保留该处PR(对正胶而言) ... , 以及mask tone..也就是你問題中的dark..clear...layer number會決定你在tool中.. 好比virtuoso或laker中使用的technology file...如果你畫過layout., Understanding Mask Tone. 意思有到就好。 光罩有兩種,陰刻陽刻. Dark-field masks(Positive tone). 要成像的地方會透光. Clear-field masks(Bright ...,GDS圖檔送至光罩製作單位後,須註明圖案的範圍與邊界座標、最小線寬,並指定. 透光(Clear)與不透光(Dark)區域。Clear表示製作的光罩繪圖的區域為可透光,而.
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