amc控制技術-談化學濾網

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2009年2月6日 — AMC 控制技術-談化學濾網黃蒨芸康育豪正研究員研究員... 分子的尺度,化學反應逐漸變成重要的污染效應之B.P. >150 AMC 的來源及控制(part ...

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AMC 控制技術- 談化學濾網- [PDF Document] - VDOCUMENTS

2015年6月26日 — AMC 控制技術-談化學濾網. 黃蒨芸. 正研究員. 康育豪. 研究員. 工研院能環所. 新竹縣竹東鎮中興路四段195 號64 館. 前言:. 半導體製程線寬不斷下 ...

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2010年1月12日 — AMC 控制技術-談化學濾網. 黃蒨芸康育豪 正研究員研究員 工研院能環所 新竹縣竹東鎮中興路四段195 號64 館. 前言: 半導體製程線寬不斷下降, ...

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AMC微污染控制與化學濾網

2018年12月21日 — International Technology Roadmap for. Semiconductors 2.0, 2015. • ITRS自2005年集結全世界專家/學者協助半導體業提. 出技術挑戰與面臨的 ...

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為了有效地控制這些AMCs,化學濾網(Chemical filter)已經被. 認為是全部半導體 ... 失去過濾效. 果。然而濃度過高的AMC 又會對製程和產品的良率造成決定性的影.

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談化學濾網 - 國家圖書館

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