SU-8 光阻
The SU-8 product line consists of chemically amplified; epoxy based negative resists with high functionality, high optical transparency and are sensitive to near UV ... ,側壁陡直，機械性，絕緣性及耐溫性能等SU-8無可比擬的優點，也正是得益於日本化藥 ... MicroChem目前可提供XPPriElex SU-8 1.0，是一種可噴墨式的SU-8光阻 ... ,本文主要是以UV 微影製程，搭配SU-8 2050厚膜光阻來製作微流道結構。首先以. Auto-CAD 設計繪出微流道圖案（Pattern）並製成塑膠光罩，然後再以光罩製作 ... ,敏感度為傳統PMMA 光阻的百倍以上，而且其光刻側壁表面品質(Ra ~ 12 nm) 與PMMA 一. 樣優異。本研究亦發現，SU-8 也具有極高的感光對比，亦即所需的光罩 ... ,近年來使用高分子材料與基本微影技術製作三維立體微結構的應用越來越多元化，其中以封閉微結構為熱門項目之一，此外也有研究指出負型光阻SU-8為高分子材料 ... ,本研究是利用UV-LIGA製程技術，製作一金屬鎳結構，經由SU-8厚膜光阻的二次塗佈及一次電鍍，以製作出形狀較具變化的微結構，整個元件的製作過程與半導體 ... ,SU-8 is an epoxy based, chemically amplified resist system with excellent sensitivity and high aspect ratios. The primary applications are Micro-fabricated ... ,本論文提出一個使用SU-8 負型光阻，製作封閉型微流道的新式製程。以往封閉式. 微流道的製作方法多需用到晶片接合製程或多次光阻塗佈。本新式製程特點是僅需 ... ,1.2 SU-8 厚膜光阻. SU-8 是一種環氧基型(epoxy type)、化學增幅式(chemical amplification). 的負型光阻，具有優越的光敏感度，適用於近紫外光波段範圍(350-400 ... ,本研究欲以SU-8 光阻製作出深寬比5 的微夾持器結構，在光罩中尺寸. 最小的夾爪寬度為20 μm，故可得知光阻膜厚應為100 μm 以上較佳。決定. Page 2. 第四章實驗 ...
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側壁陡直，機械性，絕緣性及耐溫性能等SU-8無可比擬的優點，也正是得益於日本化藥 ... MicroChem目前可提供XPPriElex SU-8 1.0，是一種可噴墨式的SU-8光阻 ... http://www.teltec.asia SU-8 光阻在矽晶圓基材上製作微流道面板之研究 - 南亞技術學院
本文主要是以UV 微影製程，搭配SU-8 2050厚膜光阻來製作微流道結構。首先以. Auto-CAD 設計繪出微流道圖案（Pattern）並製成塑膠光罩，然後再以光罩製作 ... http://web.nanya.edu.tw SU-8 光阻在高解析X 光微加工技術的新應用 - 儀科中心
敏感度為傳統PMMA 光阻的百倍以上，而且其光刻側壁表面品質(Ra ~ 12 nm) 與PMMA 一. 樣優異。本研究亦發現，SU-8 也具有極高的感光對比，亦即所需的光罩 ... https://www.tiri.narl.org.tw 國立交通大學機構典藏：以負型光阻SU-8開發雙面多重部份 ...
近年來使用高分子材料與基本微影技術製作三維立體微結構的應用越來越多元化，其中以封閉微結構為熱門項目之一，此外也有研究指出負型光阻SU-8為高分子材料 ... https://ir.nctu.edu.tw 國立交通大學機構典藏：利用SU-8光阻二次塗佈製作2.5D微 ...
本研究是利用UV-LIGA製程技術，製作一金屬鎳結構，經由SU-8厚膜光阻的二次塗佈及一次電鍍，以製作出形狀較具變化的微結構，整個元件的製作過程與半導體 ... https://ir.nctu.edu.tw 正負型光阻& 顯影液 - 佳佑儀器
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1.2 SU-8 厚膜光阻. SU-8 是一種環氧基型(epoxy type)、化學增幅式(chemical amplification). 的負型光阻，具有優越的光敏感度，適用於近紫外光波段範圍(350-400 ... http://rportal.lib.ntnu.edu.tw 第四章實驗結果與討論 - 國立臺灣師範大學
本研究欲以SU-8 光阻製作出深寬比5 的微夾持器結構，在光罩中尺寸. 最小的夾爪寬度為20 μm，故可得知光阻膜厚應為100 μm 以上較佳。決定. Page 2. 第四章實驗 ... http://rportal.lib.ntnu.edu.tw |