SOG 材料
SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式，均勻地塗佈在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後，再經過熱處理，可去除溶劑，在晶圓表 ... , 除了提升SOG 的平坦化能力以應付更嚴謹的製程需求之外，現有的SOG研發重點，尚包括如何降低旋塗式IMD的介電常數(Dielectric Constant) ，以 ...,旋塗式玻璃SOG (Spin-on glass)是液態SiO2，晶片旋塗SOG後可增加平坦性。為將SOG轉換成固態SiO2層，必須將晶片置於400~450℃的爐管，蒸除SOG內的溶劑 ,自一九九○年代中期，半導體廠商即開始積極投入Low-K材料之開發。目前已發展之Low-K製程分為化學氣相沉積法（CVD）及懸轉塗佈玻璃法（SOG）；Low-K材料則 ... ,本篇論文共研究三種低介電常數材料， 包括摻氟二氧化矽(SiOF)，與旋轉式塗佈介電材質(SOG)。在摻氟二氧化矽方面，此種介電質是最容易應用在業界上的，但是許多 ... ,AZ Spinfil® 系列是以PHPS（過氫聚矽氮烷）為基礎的無機旋塗式介電材料，其設計可在進階裝置製造的FEOL（前段製程）應用中用於填縫和平坦化。AZ Spinfil® 系列可 ... , ,現今半導體業廣泛使用中的旋. 塗式玻璃(Spin-on glass，簡稱SOG) 材料，. 因其具有低的介電常數，良好的熱穩定性，. 低漏電流以及製程容易，逐漸成為未來所需. 的低 ...
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 SOG 材料 相關參考資料
SOG - 財經百科- 財經知識庫- MoneyDJ理財網
SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式，均勻地塗佈在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後，再經過熱處理，可去除溶劑，在晶圓表 ... https://www.moneydj.com SOG：材料世界網
除了提升SOG 的平坦化能力以應付更嚴謹的製程需求之外，現有的SOG研發重點，尚包括如何降低旋塗式IMD的介電常數(Dielectric Constant) ，以 ... https://www.materialsnet.com.t Spin on Glass (SOG) - 旋寶好企業
旋塗式玻璃SOG (Spin-on glass)是液態SiO2，晶片旋塗SOG後可增加平坦性。為將SOG轉換成固態SiO2層，必須將晶片置於400~450℃的爐管，蒸除SOG內的溶劑 http://davidlu.net 半導體產業發展的推手 低介電材料 - 台灣肥料股份有限公司
自一九九○年代中期，半導體廠商即開始積極投入Low-K材料之開發。目前已發展之Low-K製程分為化學氣相沉積法（CVD）及懸轉塗佈玻璃法（SOG）；Low-K材料則 ... https://www.taifer.com.tw 國立交通大學機構典藏：低介電常數材料特性分析與研究
本篇論文共研究三種低介電常數材料， 包括摻氟二氧化矽(SiOF)，與旋轉式塗佈介電材質(SOG)。在摻氟二氧化矽方面，此種介電質是最容易應用在業界上的，但是許多 ... https://ir.nctu.edu.tw 旋塗式介電 - Merck KGaA
AZ Spinfil® 系列是以PHPS（過氫聚矽氮烷）為基礎的無機旋塗式介電材料，其設計可在進階裝置製造的FEOL（前段製程）應用中用於填縫和平坦化。AZ Spinfil® 系列可 ... https://www.merckgroup.com 解釋頁
http://178.taiwanlife.com 銅金屬與低介電常數材料與製程 - 國立彰化師範大學機電工程學系
現今半導體業廣泛使用中的旋. 塗式玻璃(Spin-on glass，簡稱SOG) 材料，. 因其具有低的介電常數，良好的熱穩定性，. 低漏電流以及製程容易，逐漸成為未來所需. 的低 ... http://www.me.ncue.edu.tw |