SOG 材料

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SOG 材料

SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式,均勻地塗佈在晶圓表面,以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後,再經過熱處理,可去除溶劑,在晶圓表 ... , 除了提升SOG 的平坦化能力以應付更嚴謹的製程需求之外,現有的SOG研發重點,尚包括如何降低旋塗式IMD的介電常數(Dielectric Constant) ,以 ...,旋塗式玻璃SOG (Spin-on glass)是液態SiO2,晶片旋塗SOG後可增加平坦性。為將SOG轉換成固態SiO2層,必須將晶片置於400~450℃的爐管,蒸除SOG內的溶劑 ,自一九九○年代中期,半導體廠商即開始積極投入Low-K材料之開發。目前已發展之Low-K製程分為化學氣相沉積法(CVD)及懸轉塗佈玻璃法(SOG);Low-K材料則 ... ,本篇論文共研究三種低介電常數材料, 包括摻氟二氧化矽(SiOF),與旋轉式塗佈介電材質(SOG)。在摻氟二氧化矽方面,此種介電質是最容易應用在業界上的,但是許多 ... ,AZ Spinfil® 系列是以PHPS(過氫聚矽氮烷)為基礎的無機旋塗式介電材料,其設計可在進階裝置製造的FEOL(前段製程)應用中用於填縫和平坦化。AZ Spinfil® 系列可 ... , ,現今半導體業廣泛使用中的旋. 塗式玻璃(Spin-on glass,簡稱SOG) 材料,. 因其具有低的介電常數,良好的熱穩定性,. 低漏電流以及製程容易,逐漸成為未來所需. 的低 ...

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SOG 材料 相關參考資料
SOG - 財經百科- 財經知識庫- MoneyDJ理財網

SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式,均勻地塗佈在晶圓表面,以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後,再經過熱處理,可去除溶劑,在晶圓表 ...

https://www.moneydj.com

SOG:材料世界網

除了提升SOG 的平坦化能力以應付更嚴謹的製程需求之外,現有的SOG研發重點,尚包括如何降低旋塗式IMD的介電常數(Dielectric Constant) ,以 ...

https://www.materialsnet.com.t

Spin on Glass (SOG) - 旋寶好企業

旋塗式玻璃SOG (Spin-on glass)是液態SiO2,晶片旋塗SOG後可增加平坦性。為將SOG轉換成固態SiO2層,必須將晶片置於400~450℃的爐管,蒸除SOG內的溶劑

http://davidlu.net

半導體產業發展的推手 低介電材料 - 台灣肥料股份有限公司

自一九九○年代中期,半導體廠商即開始積極投入Low-K材料之開發。目前已發展之Low-K製程分為化學氣相沉積法(CVD)及懸轉塗佈玻璃法(SOG);Low-K材料則 ...

https://www.taifer.com.tw

國立交通大學機構典藏:低介電常數材料特性分析與研究

本篇論文共研究三種低介電常數材料, 包括摻氟二氧化矽(SiOF),與旋轉式塗佈介電材質(SOG)。在摻氟二氧化矽方面,此種介電質是最容易應用在業界上的,但是許多 ...

https://ir.nctu.edu.tw

旋塗式介電 - Merck KGaA

AZ Spinfil® 系列是以PHPS(過氫聚矽氮烷)為基礎的無機旋塗式介電材料,其設計可在進階裝置製造的FEOL(前段製程)應用中用於填縫和平坦化。AZ Spinfil® 系列可 ...

https://www.merckgroup.com

解釋頁

http://178.taiwanlife.com

銅金屬與低介電常數材料與製程 - 國立彰化師範大學機電工程學系

現今半導體業廣泛使用中的旋. 塗式玻璃(Spin-on glass,簡稱SOG) 材料,. 因其具有低的介電常數,良好的熱穩定性,. 低漏電流以及製程容易,逐漸成為未來所需. 的低 ...

http://www.me.ncue.edu.tw