高 週波 電漿
論文名稱: 以高週波電漿系統分解甲烷之研究. 論文名稱(外文):, A Sudy of Methane Decomposition by Using A Radio-Frequency Plasma System. 指導教授: 李文智 ... ,高週波電漿(radio frequency plasma)又稱RF 電漿,利用高週波產生器. (RF generator)之高頻電場特性,使電子隨著電場方向的導引,不斷地改變. 移動方向來藉以 ... ,非熱電漿種類. ○ 電暈放電(corona discharge). ○ 介電質放電(dielectric barrier discharge, DBD). ○ 電子束法(electron beam, E-beam). ○ 高週波電漿(rf plasma). ,其應用在燃燒分解及. 熔融的用途大致上可分為高週波電漿(Radio Frequency Generated Plasma)及直. 流電弧電漿(DC Arc-Generated Plasma),前者利用高 ... ,到蝕刻、濺鍍及輔助化學氣相沉積鍍膜作說明,最後對目前盛行的高密度電漿源 ... 高週波感應耦合式電漿與一般平板式高週波電漿最大不同處是前者以感應. ,電漿火炬. 在燃燒、分解及熔融的用途上所使用的高溫電漿科技,可分為高週波電漿(Radio Frequency Generated Plasma)及直流電弧電漿(DC Arc-Generated ... ,被加速的電子隨著電源供應器功率之提昇而能從中獲得足夠的能量與中性氣體分子碰撞發生解離進而產生電漿。 高週波感應耦合式電漿與一般平板式高週波電漿最大 ... ,電漿用在燃燒分解的用途上可分為高週波電漿及. 電弧電漿。 Page 12. 12. 傳統焚化爐技術與電漿處理技術之比較. ,本研究係利用高週波電漿系統,具有高度活性之化學物種,將乙醚氣體轉化成其他較具經濟價值的產物。實驗結果顯示,不同濃度之進流氣體,當無氧存在時主要 ...
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非熱電漿種類. ○ 電暈放電(corona discharge). ○ 介電質放電(dielectric barrier discharge, DBD). ○ 電子束法(electron beam, E-beam). ○ 高週波電漿(rf plasma). http://140.134.32.129 行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告 - 國立成功 ...
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