電 漿 處理
,漿（Therm. 場加速而獲. 在較低. 加上受電子. Plasma）。 電漿的. 以碰撞進行. 即產生一 ... 處理工藝. 卻無真空電漿. 亦即在常溫. 處理技術，主. 劑蝕刻、火. 生產效率緩慢. ,漆與黏著前處理產業、空氣與水汙染處理產業等。但現今發展最為成. 熟的電漿技術多在真空製程下進行，而有諸多缺點，如抽真空耗費時. 間、真空設備與維護費昂貴、 ... ,勝華科技開發大氣電漿( Air Plasma Source, 簡稱APS ) 表面處理技術。利用大氣電漿中的帶電離子，將物體表面的污染物去除、 進行表面改質與提高其表面能；經過 ... ,電漿處理是把反應氣體分子加以解離成原子、離子、. 或活性基(Radical)，使材料表面與電漿氣體反應產生極性基、自由基或peroxide等。電漿. 表面改質法是在低壓 ... ,雖然電漿表面處理在機能性材料開發方面廣泛地在學術界研究，然而關於要. 生成表面游離基本身的動力學卻未被探討，尤其以往電漿處理之定性與定量都市. 在離開真空 ... ,高溫電漿利用其高能量特性處理材質，適合熔焊加工及熔融廢棄. 物固化減容處理；低溫電漿則利用較低能量及高活性之功能處理固態. 表面或氣態物質達到表面改質或 ... ,電漿為一熱力學非平衡狀態, 電漿中分佈了多種形態的高能量粒子, 利用. 電漿, 可以將 ... 電漿清潔所需的能源少,產生的污染物. 極少,是一個 ... 電漿密度高,處理速度快. , 自1960年以來，電子工業開始使用電漿技術用以沉積成長薄膜或蝕刻線路來製作半導體元件，應用電漿的產業技術開始蓬勃發展。而伴隨著高分子聚合 ...,依據處理的材質及. 所需作用的程度不同，. 可能採用惰性氣體（如. Ar）或反應性氣體（如. O2），甚至於混合氣體. 系統，作用原理主要利. 用電漿中離子或電子對. 基材表面 ...
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