電漿鞘層
平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. 陰極. Photo Courtesy: UT Dallas. Wafer location: 6. 離子化(Ionization). ,平行板電極(電容耦合型). 電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區或. 鞘層. 電極. 到真空幫浦 ... 鞘層區. Vp. Vf x. 暗區. 巨體電漿. 鞘層電位. ,由 張朝雯 著作 · 2003 · 被引用 1 次 — 離子能量催化蝕刻，此反應包含蝕刻反應物及高能離子，電漿中的高能離子. 會加強蝕刻反應，離子被電漿鞘層（Sheath）中電場加速撞擊薄膜表面，破壞薄. 膜表面原子結構與原子 ... ,這種屏蔽效應稱為德拜屏蔽（Debye shielding）。瀕臨平板邊界數個德拜屏蔽長度厚的薄層，一般稱為鞘層。這種德拜屏蔽效應也發生於電 ... ,由 林兆焄 著作 · 2005 — 2.2.1 電漿形成原理與特性. 電漿的定義是一團氣體原子或分子，其中包含自由電子、氣體離子、 ... 電極，基板等）之間的過渡區域，形成一個鞘層（sheath，或稱plasma. ,電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量 ... 平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. ,電漿鞘層是指電漿與器壁或電極接觸時,在兩者之間形成的過渡區。由於電子跑向器壁的速率比離子大得多,使絕緣器壁相對於電漿具有負電位，有當到達絕緣器壁的電子流等於 ... ,由 李安平 著作 — 尤其是包含了具能量的粒子，它. 們能引發許多特殊的化學與物理的反應。例如在電漿. 蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速. 後轟擊矽晶圓， ... ,宇宙間大多數物質處於電漿態，亦即熱平衡狀態，然而在低壓放電製程中，輕重不同 ... 若腔體壓力低至自由程遠遠超過鞘層厚度，此時之電漿鞘厚度可由下式計算獲得：. ,關鍵字：電漿鞘層；直流負偏壓電位；射頻負偏壓電位；鞘層厚度；電場分佈；溫度分佈. 能量分佈與離子角度分佈等。在扭曲鞘層中，由於DC 或RF 電場分佈偏移，非垂直於 ...
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 電漿鞘層 相關參考資料
Ch7 Plasma
平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. 陰極. Photo Courtesy: UT Dallas. Wafer location: 6. 離子化(Ionization). http://homepage.ntu.edu.tw Chapter 7 電漿的基礎原理
平行板電極(電容耦合型). 電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區或. 鞘層. 電極. 到真空幫浦 ... 鞘層區. Vp. Vf x. 暗區. 巨體電漿. 鞘層電位. https://pdf4pro.com 國立交通大學機械工程研究所碩士論文
由 張朝雯 著作 · 2003 · 被引用 1 次 — 離子能量催化蝕刻，此反應包含蝕刻反應物及高能離子，電漿中的高能離子. 會加強蝕刻反應，離子被電漿鞘層（Sheath）中電場加速撞擊薄膜表面，破壞薄. 膜表面原子結構與原子 ... https://ir.nctu.edu.tw 奇妙的物質第四態--電漿 - 東華大學
這種屏蔽效應稱為德拜屏蔽（Debye shielding）。瀕臨平板邊界數個德拜屏蔽長度厚的薄層，一般稱為鞘層。這種德拜屏蔽效應也發生於電 ... http://faculty.ndhu.edu.tw 第二章文獻回顧
由 林兆焄 著作 · 2005 — 2.2.1 電漿形成原理與特性. 電漿的定義是一團氣體原子或分子，其中包含自由電子、氣體離子、 ... 電極，基板等）之間的過渡區域，形成一個鞘層（sheath，或稱plasma. https://ir.nctu.edu.tw 第五章電漿基礎原理
電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量 ... 平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. http://homepage.ntu.edu.tw 等離子鞘層 - 中文百科全書
電漿鞘層是指電漿與器壁或電極接觸時,在兩者之間形成的過渡區。由於電子跑向器壁的速率比離子大得多,使絕緣器壁相對於電漿具有負電位，有當到達絕緣器壁的電子流等於 ... https://www.newton.com.tw 電漿源原理與應用之介紹
由 李安平 著作 — 尤其是包含了具能量的粒子，它. 們能引發許多特殊的化學與物理的反應。例如在電漿. 蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath)加速. 後轟擊矽晶圓， ... http://psroc.phys.ntu.edu.tw 電漿製程技術 - 興大材料
宇宙間大多數物質處於電漿態，亦即熱平衡狀態，然而在低壓放電製程中，輕重不同 ... 若腔體壓力低至自由程遠遠超過鞘層厚度，此時之電漿鞘厚度可由下式計算獲得：. http://www.mse.nchu.edu.tw 電漿鞘層 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字：電漿鞘層；直流負偏壓電位；射頻負偏壓電位；鞘層厚度；電場分佈；溫度分佈. 能量分佈與離子角度分佈等。在扭曲鞘層中，由於DC 或RF 電場分佈偏移，非垂直於 ... https://www.grb.gov.tw |