電容式壓力感測器原理
MEMS壓力感測器在設計原理上，主要可分為壓阻式與電容式。壓阻式MEMS壓力計結構圖如圖1所示，其結構主要包含基板、薄膜與壓阻材料，其中 ..., 了解壓力感测器(Pressure Sensor) 原理及其應用前，要先 .... 的壓力換能器為應變規、可變電容，以及壓電計。,由於電容式壓力計可實現精準、低功耗的高度和壓力變化測量，因此正逐漸受到行動裝置、汽車和 ... MEMS壓力感測器在設計原理上，主要可分為壓阻式與電容式。 ,電容式壓力感測器主要是利用平行電容板的原理，當感測器上隔膜受壓力而變形時，其隔膜與底板電極間的間隙改變而造成電容的變化，藉由電容的變化便能夠感測 ... ,, 三種最通用的壓力傳感器類型分別是橋接式（使用應變量規）、可變電容式 ... 橋接式感測器能夠同時量測高壓與低壓應用中的絕對、量規或差動壓力。,1992a). 電容式壓力感測器. 利用平行板電容原理製作已有悠久歷史，其. 主要是偵測位移量受應力之變化，故較不受. 外界溫度之干擾。靈敏度相當高且較不耗電. ,對於外在溫度變化十分敏感，其應用便有所限制；以壓電式壓力感測器而言， ... 4.壓電式. 5.振動元件. 6.光電式. 以下將個別對電容式、壓阻式的原理做概略性介紹： ...
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