電子束微影鄰近效應
電子束微影 ； 鄰近效應修正 ； 正電子阻劑 ； 顯影速率 ； 電子散射 ； 最短路徑問題 ； 粒子群最佳化法 ； 小線寬圖形 ； 圖形轉移 ； E-beam lithography ... ,論文名稱: 發展電子束微影鄰近效應之修正方法. 論文名稱(外文):, Development of Proximity Effect Correction Method for E-Beam Lithography. 指導教授: 管傑雄. ,關鍵字: 電子束;微影術;鄰近效應修正;充電效應;輸出量;E-beam;Lithography;Proximity effect correction;Changing effect;Throughput. 公開日期: 1999. 官方說明文件 ... ,我們使用可變形狀電子束曝光系統「Leica WePrint 200」,可以成功曝出小於100奈米的奈米級的圖案。 In this thesis, proximity effect of E-beam lithography was ... ,標題: 電子束微影鄰近效應參數測定與鄰近效應修正之研究. The Study on the Determination of Proximity Parameters and Proximity Effect Correction in Electron ... ,電子束微影 ； 鄰近效應修正 ； 顯影模型 ； 次十奈米微影 ； 關鍵顯影路徑 ； 群體智能 ； 圖形演算法 ； electron-beam lithography ； proximity effect correction ...
| 相關軟體 yEd 資訊 | |
|---|---|
 電子束微影鄰近效應 相關參考資料
Airiti Library華藝線上圖書館_發展電子束微影鄰近效應之修正方法
電子束微影 ； 鄰近效應修正 ； 正電子阻劑 ； 顯影速率 ； 電子散射 ； 最短路徑問題 ； 粒子群最佳化法 ； 小線寬圖形 ； 圖形轉移 ； E-beam lithography ... https://www.airitilibrary.com 博碩士論文行動網 - 全國博碩士論文資訊網
論文名稱: 發展電子束微影鄰近效應之修正方法. 論文名稱(外文):, Development of Proximity Effect Correction Method for E-Beam Lithography. 指導教授: 管傑雄. https://ndltd.ncl.edu.tw 國立交通大學機構典藏：電子束微影之鄰近效應修正
關鍵字: 電子束;微影術;鄰近效應修正;充電效應;輸出量;E-beam;Lithography;Proximity effect correction;Changing effect;Throughput. 公開日期: 1999. 官方說明文件 ... https://ir.nctu.edu.tw 國立交通大學機構典藏：電子束微影技術的鄰近效應研究
我們使用可變形狀電子束曝光系統「Leica WePrint 200」,可以成功曝出小於100奈米的奈米級的圖案。 In this thesis, proximity effect of E-beam lithography was ... https://ir.nctu.edu.tw 國立交通大學機構典藏：電子束微影鄰近效應參數測定與鄰近 ...
標題: 電子束微影鄰近效應參數測定與鄰近效應修正之研究. The Study on the Determination of Proximity Parameters and Proximity Effect Correction in Electron ... https://ir.nctu.edu.tw 短時間低溫顯影之電子束微影與鄰近效應修正演算法 - 華藝線上 ...
電子束微影 ； 鄰近效應修正 ； 顯影模型 ； 次十奈米微影 ； 關鍵顯影路徑 ； 群體智能 ； 圖形演算法 ； electron-beam lithography ； proximity effect correction ... https://www.airitilibrary.com |