臨界尺寸定義

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臨界尺寸定義

中文名称: 临界尺寸. 英文名称: critical dimension. 定义: 在一定的材料组成和几何布置状下,堆芯恰好达到临界时的尺寸。相应的体积称为“临界体积(critical volume)” ... ,臨界尺寸. => critical dimension (CD) 用來定義每一道製程的線徑控制. 2.MOSFET. => 金屬氧化物半導體場效電晶體. Metal (gate) / oxide / Semiconductor ... ,半導體 ... ,論文摘要半導體製程中最小線寬一般稱之為臨界尺寸,在半導體產業量產上對臨界尺寸的監控皆是以抽樣方式量測樣本值,藉以代表全體真實的臨界尺寸值。當臨界尺寸越做越小,可 ... , ,由 黃閔顯 著作 · 2006 · 被引用 1 次 — 定義臨界尺寸量測方法之用途;2.選擇評估之臨界尺寸量測. 方法;3.建立各項參數值;4.製作異常之晶圓;5.量測先進製程控制系統回. 饋後臨界尺寸值;6.建立評估項目;7. ,中文名稱, 臨界尺寸. 英文名稱, critical dimension. 定義, 在一定的材料組成和幾何布置狀下,堆芯恰好達到臨界時的尺寸。相應的體積稱為“臨界體積(critical volume)” ... ,臨界尺寸定義,中文名称: 临界尺寸. 英文名称: critical dimension. 定义: 在一定的材料组成和几何布置状下,堆芯恰好达到临界时的尺寸。相应的体积称为“临界 ... ,定義臨界尺寸量測方法之用途;2. ... 一般CD 量測分為顯影後臨界尺寸檢查(After Development Inspection Critical Dimension, ADI CD)與蝕刻後臨界尺寸檢查(After Etch ... ,設定尺寸. 零件圖面通常表示零件某些尺寸的公差。我們所講的臨界尺寸是指零件規格要求指定公差滿足的尺寸。您可以使用「分析」功能表中的「設定臨界尺寸」工具,定義 ...

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臨界尺寸定義 相關參考資料
临界尺寸_百度百科

中文名称: 临界尺寸. 英文名称: critical dimension. 定义: 在一定的材料组成和几何布置状下,堆芯恰好达到临界时的尺寸。相应的体积称为“临界体积(critical volume)” ...

https://baike.baidu.com

半導體臨界尺寸 - 軟體兄弟

臨界尺寸. => critical dimension (CD) 用來定義每一道製程的線徑控制. 2.MOSFET. => 金屬氧化物半導體場效電晶體. Metal (gate) / oxide / Semiconductor ... ,半導體 ...

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博碩士論文行動網

論文摘要半導體製程中最小線寬一般稱之為臨界尺寸,在半導體產業量產上對臨界尺寸的監控皆是以抽樣方式量測樣本值,藉以代表全體真實的臨界尺寸值。當臨界尺寸越做越小,可 ...

https://ndltd.ncl.edu.tw

國立交通大學機構典藏:臨界尺寸量測方法最佳化之研究

https://ir.nctu.edu.tw

工學院專班半導體材料與製程設備學程

由 黃閔顯 著作 · 2006 · 被引用 1 次 — 定義臨界尺寸量測方法之用途;2.選擇評估之臨界尺寸量測. 方法;3.建立各項參數值;4.製作異常之晶圓;5.量測先進製程控制系統回. 饋後臨界尺寸值;6.建立評估項目;7.

https://ir.nctu.edu.tw

臨界尺寸 - 中文百科全書

中文名稱, 臨界尺寸. 英文名稱, critical dimension. 定義, 在一定的材料組成和幾何布置狀下,堆芯恰好達到臨界時的尺寸。相應的體積稱為“臨界體積(critical volume)” ...

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臨界尺寸定義 - 軟體兄弟

臨界尺寸定義,中文名称: 临界尺寸. 英文名称: critical dimension. 定义: 在一定的材料组成和几何布置状下,堆芯恰好达到临界时的尺寸。相应的体积称为“临界 ...

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臨界尺寸量測方法最佳化之研究 - 9lib TW

定義臨界尺寸量測方法之用途;2. ... 一般CD 量測分為顯影後臨界尺寸檢查(After Development Inspection Critical Dimension, ADI CD)與蝕刻後臨界尺寸檢查(After Etch ...

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說明: 臨界尺寸(概念)

設定尺寸. 零件圖面通常表示零件某些尺寸的公差。我們所講的臨界尺寸是指零件規格要求指定公差滿足的尺寸。您可以使用「分析」功能表中的「設定臨界尺寸」工具,定義 ...

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