真空計校正方法
為確保工作腔體內壓力的正確性與再現性，定期的校正是確保量測品質與系統可靠度的不二法門。有鑒於此，本中心成功建立一套廣域型真空計校正系統，並正式發表於2006 年光電展。 (如圖一所示). 真空計的校正方法可分為「比對校正」及「絕對校正」兩種，一般校正實驗室僅需利用比對校正法執行真空計校正工作即 ...,腔體內真空度的正確性，定期的校正是確保量. 測品質與系統可靠度的不二法門。 真空計的校正方法可分為此對校正及絕對. 校正法兩種[1 ，2] ，其中絕對校正法其設備與技術. 均要求極高的水準，因此多應用於國家原級標. 準實驗室口，呵， 一般校正實驗室只需利用比對校. 正法來執行真空計校正工作。本研究主要是設. 計一套新型真空 ... ,真空計校正方法的技术应用和真空計校正方法的设计资料以及真空計校正方法电路图，在线计算器工具等电子工程师学习资料全集。 ,改訂の概要. 今回の改訂の主な点は、以下のとおりです。 （1）校正圧力の発生方法を見直して圧力範囲を. 拡大しました。 （2）トレーサビリティーの概念を明確にして、. 隔膜真空計やスピニングローター真空計なども. 扱えるようになりました。 （3）不確かさの概念が導入されました。 （4）校正の不確かさが2 %以下の校正も可能に. なりました。 今後の ... ,真空計校正方法. Methods of calibration for vacuum gauges. 序文. この規格は，2005 年に第 1 版として発行された ISO/TS 3567 を基に，技術的内容を変更して作成した日. 本工業規格である。 なお，この規格で点線の下線を施してある箇所は，対応国際規格を変更している事項である。変更の一. 覧表にその説明を付けて，. 附属書 JA に示す。 ,07-3-90-0068, 氣體式活塞壓力計(連通比較法)校正程序, ICT-359, 27, 5,000. 07-3-90-0007, 電容量測系統校正程序-100 kHz、1MHz電容標準, ICT-349, 36, 5,600. 07-3-87-0004, 低頻加速規校正程序－正弦逼近法, ICT-327, 37, 5,700. 07-3-86-0115, 高壓氣體流量系統氣量計校正程序-比較法, ICT-325, 31, 5,100. 07-3-86-0085 ... ,派藍尼真空計. ➢ 利用Wheatstone bridge 的補償原理，其中一燈絲作. 為該電路的其中一個電阻。倘若燈絲所在的氣體分子. 密度改變時，其導熱度會有所不同，因此燈絲所表現. 的溫度會不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，. 固定電流以及固定溫度中以最後一種方法做敏感不同. 氣體其導熱度不同，因此在刻度上需要校正。 ➢ 種類. ,低壓下的壓力計. Pirani真空計(中度真空~10-4 Torr). 加熱金屬，量測其電阻。金屬絲. 的電阻因為氣體帶走了熱量，導致. 溫度降低進而而造成電阻率的變化。 當氣體越少，能帶走的熱量就越少. 因此透過電阻的量測，便可以得知. 因此透過電阻的量測便可以得知. 道氣體的壓力。 ,4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計. 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計. 4 5 部分壓力分析儀. 4.5 部分壓力分析儀. 4.6 真空計的校正. 4 7 抽氣速率 .... 派藍尼真空計(Pirani gauge). 較精確可靠的方法. 測定具有正電阻溫度係數. （temperature coefficient of resistance）燈絲的電阻變化. 此種燈絲可用鎢，鎳或鉑等金. ,壓力計種類與其壓力量測範圍之關係. 原則上一定是低真空壓力計. 與高真空壓力計相互搭配，. 倘若所要量測的氣體壓力會. 因與真空計起作用時，則不. 能使用會具有發熱性的壓力. 計，例如thermocouple gauge,pirani gauge,hot cathode ion gauge。 Chin-Chung Yu. McLeod Gauge. 已經非常少使用，通常它被用來當. 作校正使用， ...
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 真空計校正方法 相關參考資料
真空計校正系統量測不確定度研究 - 國研院儀科中心 - 國家實驗研究院
為確保工作腔體內壓力的正確性與再現性，定期的校正是確保量測品質與系統可靠度的不二法門。有鑒於此，本中心成功建立一套廣域型真空計校正系統，並正式發表於2006 年光電展。 (如圖一所示). 真空計的校正方法可分為「比對校正」及「絕對校正」兩種，一般校正實驗室僅需利用比對校正法執行真空計校正工作即 ... http://www.itrc.narl.org.tw 新型真空計校正系統之研究新型真空計校正系統之研究
腔體內真空度的正確性，定期的校正是確保量. 測品質與系統可靠度的不二法門。 真空計的校正方法可分為此對校正及絕對. 校正法兩種[1 ，2] ，其中絕對校正法其設備與技術. 均要求極高的水準，因此多應用於國家原級標. 準實驗室口，呵， 一般校正實驗室只需利用比對校. 正法來執行真空計校正工作。本研究主要是設. 計一套新型真空 ... http://tao.wordpedia.com 真空計校正方法,很全面的真空計校正方法文章- 电子工程世界网
真空計校正方法的技术应用和真空計校正方法的设计资料以及真空計校正方法电路图，在线计算器工具等电子工程师学习资料全集。 http://www.eeworld.com.cn JIS Z 8750「真空計校正方法」の改訂 - AIST： 産業技術総合研究所
改訂の概要. 今回の改訂の主な点は、以下のとおりです。 （1）校正圧力の発生方法を見直して圧力範囲を. 拡大しました。 （2）トレーサビリティーの概念を明確にして、. 隔膜真空計やスピニングローター真空計なども. 扱えるようになりました。 （3）不確かさの概念が導入されました。 （4）校正の不確かさが2 %以下の校正も可能に. なりました。 今後の ... https://www.aist.go.jp JIS Z 8750:2009 真空計校正方法 - 日本工業規格の簡易閲覧
真空計校正方法. Methods of calibration for vacuum gauges. 序文. この規格は，2005 年に第 1 版として発行された ISO/TS 3567 を基に，技術的内容を変更して作成した日. 本工業規格である。 なお，この規格で点線の下線を施してある箇所は，対応国際規格を変更している事項である。変更の一. 覧表にその説明を付けて，. 附属書 JA に示す。 http://kikakurui.com 校正程序(ICT) - 國家度量衡標準實驗室
07-3-90-0068, 氣體式活塞壓力計(連通比較法)校正程序, ICT-359, 27, 5,000. 07-3-90-0007, 電容量測系統校正程序-100 kHz、1MHz電容標準, ICT-349, 36, 5,600. 07-3-87-0004, 低頻加速規校正程序－正弦逼近法, ICT-327, 37, 5,700. 07-3-86-0115, 高壓氣體流量系統氣量計校正程序-比... http://www.nml.org.tw 第五章真空計 - Mipaper
派藍尼真空計. ➢ 利用Wheatstone bridge 的補償原理，其中一燈絲作. 為該電路的其中一個電阻。倘若燈絲所在的氣體分子. 密度改變時，其導熱度會有所不同，因此燈絲所表現. 的溫度會不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，. 固定電流以及固定溫度中以最後一種方法做敏感不同. 氣體其導熱度不同，因此在刻度上需要校正。 ➢ 種類. http://www.lcis.com.tw 壓力量測壓力量測 - 中原大學物理系
低壓下的壓力計. Pirani真空計(中度真空~10-4 Torr). 加熱金屬，量測其電阻。金屬絲. 的電阻因為氣體帶走了熱量，導致. 溫度降低進而而造成電阻率的變化。 當氣體越少，能帶走的熱量就越少. 因此透過電阻的量測，便可以得知. 因此透過電阻的量測便可以得知. 道氣體的壓力。 http://140.135.72.1 Chapter 4 真空測量
4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計. 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計. 4 5 部分壓力分析儀. 4.5 部分壓力分析儀. 4.6 真空計的校正. 4 7 抽氣速率 .... 派藍尼真空計(Pirani gauge). 較精確可靠的方法. 測定具有正電阻溫度係數. （temperature coefficient of resistance）燈絲的電阻變化. 此種燈絲可用鎢，鎳或鉑等金.... http://www.phys.nthu.edu.tw APC631Y10101_chapter 5 真空量測.pdf
壓力計種類與其壓力量測範圍之關係. 原則上一定是低真空壓力計. 與高真空壓力計相互搭配，. 倘若所要量測的氣體壓力會. 因與真空計起作用時，則不. 能使用會具有發熱性的壓力. 計，例如thermocouple gauge,pirani gauge,hot cathode ion gauge。 Chin-Chung Yu. McLeod Gauge. 已經非常少使用，通常它被用來當. 作校正使用，&... http://ap.nuk.edu.tw |