濕式製程
圖1、晶圓製程中五大污染物(Source: GPTC WBD). 弘塑科技Wet Bench設備最常應用之濕式化學清洗與蝕刻製程，簡述如下： ... ,我們的化學濕製程設備採用在線式製程設計，在玻璃基板、印刷電路板、矽晶圓以及軟性薄膜(捲對捲製程)等處理上擁有傑出表現。 在製程、機台與相關元件的研發 ... ,在半導體濕式製程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行，而溶液中奈米粒子的尺寸與分佈會影響晶圓電路圖案(pattern)的製程結果，例如 ... ,達思系統為使用端廢氣處理概念提供許多明確的優勢，針對半導體汙染、廢氣的排放，進行廢氣處理，即濕式化學法，廢氣若含有揮發性有機化合物則用廢氣焚化爐 ... ,導覽 因為，運用液面溫度或液體組成濃度變化所生表面張力的Marangoni乾燥原理已有改良，及晶圓表面水痕的問題也已解決，促使濕式製程保持在晶圓製造業的 ... ,濕式化學品(wet chemicals)、濕式清洗(wet cleaning)、濕式蝕刻(wet etching)、黃光(photolithography)、化學氣相沉積(CVD)、化學機械研磨(CMP)。 前言 近幾年來 ... ,濕式蝕刻濕式蝕刻製程的功能，是將晶片浸沒於化學溶液中，將進行微影製程前所沈積的薄膜，把沒有被光阻覆蓋及保護的部分，利化學溶液與晶片表面產生氧化 ... ,濕式蝕刻製程設備. 12" Deflux Wet Bench · 6” WAFERx2cassette /8”x1 cassette 複槽式手動傳輸WET BENCH ... 晶片制程機台:SC1, SC2, BOE, SPM. 頁數： 1. ,力翰企業有限公司專業製造全自動連續式洗淨機/清洗機、烘乾機、烤箱、旋轉脫油機、連續式噴油機，此項適用於各行業，可依客戶製程規劃製造.
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