氮氣電漿
本篇論文中，我們探討了經由氮氣及氧氣電漿處理過後，所形成之薄膜的成長率及機制。另外，氮氣電漿處理過之熱形成二氧化矽，以及再氧化之氮氣電漿氮化矽也在本 ... ,電漿的定義是一團氣體原子或分子，其中包含自由電子、氣體離子、. 中性的氣體原子 ..... 等，與助燃的氧氣及稀釋氣體如氬氣（Ar）或氮氣（N2）依比例混合通. 入燃燒器 ... ,本實驗室使用自製的電感耦合式高密度電漿源（ICP）進行蝕刻製程研究，發展藉由曝曬（expose）氮氣電漿，在矽晶圓表面形成一層氮化鍵結層，且蝕刻氣體改為氯氣/ ... ,本篇論文中，我們探討了經由氮氣及氧氣電漿處理過後，所形成之薄膜的成長率及機制。另外，氮氣電漿處理過之熱形成二氧化矽，以及再氧化之氮氣電漿氮化矽也在本 ... ,本實驗製備GAZO薄膜基板溫度為室溫進行微波氫/氮電漿退火與微波氫電漿退火後處理，改變微波電漿功率為200 W、400 W、600 W，氣體壓力分別為10 Torr、15 ... ,摘要放射光譜學應用範圍相當廣泛，包含領域：物理、化學、材料、生物和醫學方面，本研究重點在於運用放射光譜學的研究與分析技術於電漿蝕刻製程中。配合電漿 ... ,由實驗結果得知，高強力聚酯梭織布經氮氣電漿處理後，使纖維表面從光. 滑變為粗糙，產生蝕刻作用，增加纖維的表面積；接觸角測試將甘油滴定於織物時，以間. ,化製程循環(鍍膜→光阻塗佈→曝光→ | 電漿(plasma)清潔/表面處理. 顯影蝕刻中都還會有清潔 ..... 用較便宜的氣體如乾淨空氣(CDA)或氮氣. (N.)。由於大氣電漿沒有 ... ,本實驗的目的在於親自動手體驗輝光放電電漿的產生過程,並透過實驗觀察與記錄，了解電漿 ... 表面改質：電漿氮化 (Plasma nitriding)、離子佈植 (Ion implantation). 4. ,薄膜，做後製程處理，期望藉由微波氫氮電漿來改. 善氧化鋅摻雜鋁薄膜的電性與光特性能力，完成微. 波氫氮電漿後的氧化鋅摻雜鋁薄膜，以霍爾量測得. 到它的電阻 ...
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