氮化矽鍍膜
... 可在高產速及低溫製程下生產，是迄今具多層鍍膜能力的單腔設備中，生產成本 ... 當混合氣體到達基板完成反應，結果導致大量的氮化矽（Si3N4）材料和很少 ... ,針對多層膜奈米結構鍍膜，本實驗室亦製備具結晶氮化鋁鈦(鉻)/非晶氮化矽之奈米積層結構氮化物硬膜，將三維結構簡化為二維結構來討論，有效地研究此奈米複合 ... ,不同非平衡特性參數G 值下，氮化矽之穿透光譜。 儀科中心整合高功率脈衝電漿濺射鍍膜技術及封閉式電漿濺鍍系統，利用此系統極佳之反應能力及成膜能量，可 ... ,以矽/氮化矽為材料在砷化鎵基板上鍍製抗反射及高反射鏡=Using Si/SiN[febb]to Deposit Antireflection and High-reflection Mirrors on GaAs Wafer. 謝彩鳳 ; 施銘洲 ; ... ,其次，利用濺鍍功率100W、工作壓力4m Torr 及鍍膜厚度100 nm. 沉積氮化矽薄膜於不同之PI/Al2O3 混成基材上。利用溶膠-凝膠法. (Sol-Gel)製備不同Al2O3 含量 ... ,阻絕層製作、表面改質、低溫雷射退火製程和機械特性分析等，在了解塑膠鍍膜的基本特. 性、材料性質 ... 氮化矽相較於其他氧化物阻絕層在鍍製過程中不需. 要通入 ... ,2020年6月16日 — 在氮化矽的實驗中通入不同流量的氧氣，以形成氮氧化矽薄膜，氮氧化矽 ... 製鍍折射率漸變之鍍膜機與一般傳統用兩種高低折射率交互鍍的方法 ... ,鍍氮化矽SiNx 測試晶圓、矽晶圓、空白晶圓、檔片、Dummy Wafer、Monitor ... 吋鍍鈦鍍鋁鍍鉬鍍鉻鍍氮化矽玻璃基板觸控面板、太陽能產業、玻璃鍍膜、玻璃 ... ,2018年7月31日 — 通過正交實驗法對襯底溫度、NH3流量和射頻功率3個對氮化矽薄膜沉積速率影響較大的工藝參數進行全局優化和調整,得到了氮化矽鍍膜的最優 ...
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針對多層膜奈米結構鍍膜，本實驗室亦製備具結晶氮化鋁鈦(鉻)/非晶氮化矽之奈米積層結構氮化物硬膜，將三維結構簡化為二維結構來討論，有效地研究此奈米複合 ... https://r429jgd.wixsite.com 儀科中心 - 國家實驗研究院
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2018年7月31日 — 通過正交實驗法對襯底溫度、NH3流量和射頻功率3個對氮化矽薄膜沉積速率影響較大的工藝參數進行全局優化和調整,得到了氮化矽鍍膜的最優 ... https://kknews.cc |