氧電漿機
電漿清洗機O2 Plasma Cleaner. Harrick Plasma 氧電漿機，可作為表面清潔，表面處理和表面改質的優良工具，可以應用於各種材料， ... ,電路板樣品雕刻機：電路板雕刻單面、電路板雕刻雙面（不含電鍍）、只有玻璃 ... 圓腔式氧電漿機（HARRICK PDC-001 Oxygen Plasma）：清洗基板，表面改質 ... ,一般使用高溫回火來使SOG (Spin-on-Glass) 轉化成積體電路製程上所需要的介電質，但因所需溫度太高(＞500 ℃)，不易使用於低溫的積體電路製程中。 本研究 ... ,圓腔式氧電漿機（Oxygen Plasma）. 服務項目：清洗基板，表面改質. 廠牌：Harrick Plasma. 型號：PDC-001 ... ,平板式氧電漿機（Oxygen Plasma）. 服務項目：玻璃與PDMS氧電漿表面改質. 廠牌：MARCH. 型號：AP300 ... ,名稱 ：氧氣電漿清洗機Oxygen Plasma Cleaner 用途 ：清洗基板 廠牌與型號：Harrick Plasma, PDC-001 重要規格：6" diameter x 6.5" length Pyrex chamber ... ,關鍵字: O2 plasma;氧電漿;surface modification;PDMS;表面改質;聚雙甲基矽氧烷. 出版社: 機械工程學系所. 引用: [1] Tennico, Y.H., Koesdjojo, M.T., Kondo, S., ... ,3. 平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. 陰極. 4 ... 電漿蝕刻. • CF. 4. 氣體在電漿中分解，產生氟自由基以. 進行氧蝕刻製程 e. −＊. + CF. ,俊尚科技代理建福公司 全系列PlasGenie® 表面處理電漿機，搭載專利可換式電漿 ... 因應不同製程調整最佳距離; 電漿密度高，可達0x103 CPS（OES法測定氧電漿 ...
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關鍵字: O2 plasma;氧電漿;surface modification;PDMS;表面改質;聚雙甲基矽氧烷. 出版社: 機械工程學系所. 引用: [1] Tennico, Y.H., Koesdjojo, M.T., Kondo, S., ... https://ir.lib.nchu.edu.tw 第五章電漿基礎原理
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