晶圓測試流程pdf
晶圓製作流程. 材料. 設計. 光罩. 無塵室生產廠房. 測試. 封裝. 最後測試. 加熱製程. 微影製程. 蝕刻與. 光阻剝除. 離子佈值與. 光阻剝除. 金屬化. CMP. 介電質沉積. 晶圓. CMP:化學機械研磨 ... ,(Final Test, 簡稱FT) [11]三種主要製程。然而,在專業測試廠中的製程僅包. 含晶圓測試和IC 測試兩個製程。上述的晶圓針測或稱為晶圓測試(wafer test, wafer sort)其主要工作為測試晶圓上的每顆晶粒(Die),而IC 測試或稱為成品. 測試(Final Test)則是測試封裝完成的IC。 圖1 CP 測試流程. 資料來源:本研究整理. 1. Receiving (收料登錄). ,積體電路製造流程共有5大步驟. • 電路設計→晶圓→光罩製作→晶片製造→晶片封裝. • 總流程可分22個小步驟(如下圖所示). 電路設計. 光罩製作. 晶片製造. 晶片構裝. 出貨. 晶圓. 1.邏輯設計. 2.電路設計. 3.圖形設計. 4.製作光罩模. 8.氧化. 9.光罩校準. 10.黃光. 11.蝕刻. 12.顯影. 13.雜質擴散. 14.離子植入. 15.化學氣相沉澱. 16.電極金屬 ... ,大綱. ▫ IC的簡介. ▫ 半導體活動價值鏈. ▫ 晶圓設計(Circuit Design). ▫ 晶圓製造流程(Wafer Foundry). ▫ 晶圓測試流程(Wafer Probing). ▫ IC封裝流程(Assembly). ▫ 高階封裝技術. ▫ IC測試流程(Final Test). ▫ 上板測試(Board Test). ▫ Q & A ... ,同時,測試成本佔單. 一IC 之總成本比例亦隨著產品的積集度與複雜度不斷攀升,故測試業者又往往面對每年客. 戶測試單價調降之要求。由於晶圓針測製程位於整個晶 ...... 圖一研究流程圖. 一、 文獻探討:. 將針對個案公司的記憶體晶圓測試製程與其在生產管理作業上所面臨議題及限制理論. 之理論與應用分別進行文獻探討與研究,本 ... ,晶圓探針測試之溫度影響探討及改善方法. An Investigation in Temperature Effects with an. Improvement Approach of Wafer Probing Test. 王政龍. *. 籃山明. Cheng-Lung Wang*, Shan-Ming Lan. 摘要. 在先進製程裡的測試流程,導入高低溫測試已成為測試必要課題。高低溫度. 變數下的測試常面臨的問題卻是良率不佳,其成因往往 ... ,晶圓級探針卡簡介. □台北科技大學機電整合研究所黃榮堂賴文雄. 本文介紹一種以微機電技術(MEMS)為基礎製作「可含有力回饋高精度垂直式探針卡」. 與「高頻GSG 探針」的方法,應用的範圍著重於晶圓裸晶(die or chip)的測試,以減少bad die. 完成封裝後所造成損失。 ... 圖3﹞垂直式探針卡[3]. 依探針製作流程不同可分成傳統機械. ,戰: 1)在晶圓量產測試階段進行數位暨類比混合信號參數的量測;2)因量. 產測試所造成的過度電性應力(Electrical Overstress;EOS)破壞的分析。在. 目前的半導體積體電路量產測試環境中,因考慮到信號傳遞品質及除錯的. 不易,混合信號的參數量測通常留到已封裝後的最終成品測試(Final. Test)。我們在這篇論文中探討在晶圓階段 ... ,釘架與基座高溫黏合. 釘架與基座高溫黏合. 晶圓切割. 晶圓切割. 晶片分離. 晶片分離. 溫度循環. 溫度循環. 晶粒黏著. 晶粒黏著. 銲線. 銲線. 電鍍. 電鍍. 離心測試. 離心測試. 蓋印. 蓋印. 測漏(微/粗). 測漏(微/粗). 電性測試. 電性測試. 包裝出貨. 包裝出貨. 加蓋封合. 加蓋封合. 切腳. 切腳. ❒ 陶瓷封裝(Hermetic Package)製程流程~釘架載具. ,半導體製程中,針測製程只要換上不同的測試配件,便可與測試製程共用相同的測試機台. (Tester)。一般測試廠為了提高測試機台的使用率,除了提供最終測試的服務外,亦接受晶. 片測試的訂單。 下圖為晶圓針測的流程圖,其流程包括下面幾道作業:. (一)晶圓針測並作產品分類(Sorting). 晶圓針測的主要目的是測試晶圓中每一顆晶粒 ...
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(Final Test, 簡稱FT) [11]三種主要製程。然而,在專業測試廠中的製程僅包. 含晶圓測試和IC 測試兩個製程。上述的晶圓針測或稱為晶圓測試(wafer test, wafer sort)其主要工作為測試晶圓上的每顆晶粒(Die),而IC 測試或稱為成品. 測試(Final Test)則是測試封裝完成的IC。 圖1 CP 測試流程. 資料來源:本研究整理. 1. Receiving ... http://chur.chu.edu.tw 半導體測試簡介
積體電路製造流程共有5大步驟. • 電路設計→晶圓→光罩製作→晶片製造→晶片封裝. • 總流程可分22個小步驟(如下圖所示). 電路設計. 光罩製作. 晶片製造. 晶片構裝. 出貨. 晶圓. 1.邏輯設計. 2.電路設計. 3.圖形設計. 4.製作光罩模. 8.氧化. 9.光罩校準. 10.黃光. 11.蝕刻. 12.顯影. 13.雜質擴散. 14.離子植入. 15.化學氣相沉澱. 16.電極金屬... http://120.105.184.250 半導體製程簡介
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