微波 電漿

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微波 電漿

微波電漿是材料薄膜沉積、微細加工和材料表面改質的一種重要工具。由於這種電漿可得到高離子密度及解離度,其化學反應活性強、製程再現性良好,所需反應溫度較 ... ,也就是說微波的能量是如何傳遞給氣體而產生電漿的? 謝謝回覆!! 2:黃福坤(研究所)張貼:2003-08-03 12:19:00 ... , 例如微電子工業採用電漿蝕刻製作次微米結構元件、半導體大型積體電路製程中的電路蝕刻、基板清潔、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor ..., 微波電漿化學氣相沉積(MPCVD)在成長薄膜的過程中有化學反應發生,屬於「化學氣相沉積(CVD)」,由於只需要高真空,而且蒸鍍的金屬可以大量 ..., 微波電漿是材料薄膜沉積、精密加工和材料表面改質的一種重要工具。由於微波電漿可得到較高的離子密度和解離度,其離子反應活性強,製程再現 ...,本研究以微波電漿(2.45GHz)進行AISI-303 不銹鋼表面氮化,處理溫度為450℃,. 腔體壓力為4 Torr。探討處理時間對於氮化效果之影響。經氮化處理後之試片做微 ... , 你可能在YouTube 上看過這道實驗:將葡萄對切到底,但留著一層葡萄皮不能斷,接著放進微波爐中微波,約5 秒葡萄就會爆發刺眼閃光,也就是電漿 ..., 假如你不知道我在說什麼,看了下面的影片,也可以自己到YouTube 搜尋“microwave grape” 就知道了。 微波爐是用2.45 GHz 的微波加熱,在空氣中 ..., 因此許多人推測電漿產生的原理是:由於果皮富含離子,具有良好導電效果,使得相連的兩片葡萄像天線一樣吸收微波輻射。近期有科學家深入研究這個 ...,目前產生. 電漿的方法以使用的功率源而言有直流放電(DC discharge),低頻及中頻放電(數KHz 到數MHz),射頻. 放電(13.6MHz),及微波放電(2.45GHz)。現行電漿製. 程 ...

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微波 電漿 相關參考資料
Plasma antenna and 微波電漿源技術及應用(半導體科技NO.26 ...

微波電漿是材料薄膜沉積、微細加工和材料表面改質的一種重要工具。由於這種電漿可得到高離子密度及解離度,其化學反應活性強、製程再現性良好,所需反應溫度較 ...

https://blog.xuite.net

大學物理相關內容討論:關於微波電漿產生原理

也就是說微波的能量是如何傳遞給氣體而產生電漿的? 謝謝回覆!! 2:黃福坤(研究所)張貼:2003-08-03 12:19:00 ...

http://www.phy.ntnu.edu.tw

微波氫氣電漿在材料處理之應用:材料世界網

例如微電子工業採用電漿蝕刻製作次微米結構元件、半導體大型積體電路製程中的電路蝕刻、基板清潔、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor ...

http://www.materialsnet.com.tw

微波電漿化學氣相沉積(MPCVD) | Ansforce

微波電漿化學氣相沉積(MPCVD)在成長薄膜的過程中有化學反應發生,屬於「化學氣相沉積(CVD)」,由於只需要高真空,而且蒸鍍的金屬可以大量 ...

https://www.ansforce.com

微波電漿源設計技術介紹:材料世界網

微波電漿是材料薄膜沉積、精密加工和材料表面改質的一種重要工具。由於微波電漿可得到較高的離子密度和解離度,其離子反應活性強,製程再現 ...

http://www.materialsnet.com.tw

應用微波電漿進行不銹鋼表面氮化之研究 - 龍華科技大學

本研究以微波電漿(2.45GHz)進行AISI-303 不銹鋼表面氮化,處理溫度為450℃,. 腔體壓力為4 Torr。探討處理時間對於氮化效果之影響。經氮化處理後之試片做微 ...

https://www.lhu.edu.tw

為什麼微波葡萄會爆火花?物理學家終於確認其中機制 - 3C新報

你可能在YouTube 上看過這道實驗:將葡萄對切到底,但留著一層葡萄皮不能斷,接著放進微波爐中微波,約5 秒葡萄就會爆發刺眼閃光,也就是電漿 ...

https://ccc.technews.tw

葡萄用微波爐加熱會「發爐」產生電漿?這是怎麼發生的 ...

假如你不知道我在說什麼,看了下面的影片,也可以自己到YouTube 搜尋“microwave grape” 就知道了。 微波爐是用2.45 GHz 的微波加熱,在空氣中 ...

https://pansci.asia

葡萄的微波爐物理| CASE報科學 - 國立臺灣大學科學教育發展中心

因此許多人推測電漿產生的原理是:由於果皮富含離子,具有良好導電效果,使得相連的兩片葡萄像天線一樣吸收微波輻射。近期有科學家深入研究這個 ...

https://case.ntu.edu.tw

電漿源原理與應用之介紹

目前產生. 電漿的方法以使用的功率源而言有直流放電(DC discharge),低頻及中頻放電(數KHz 到數MHz),射頻. 放電(13.6MHz),及微波放電(2.45GHz)。現行電漿製. 程 ...

http://psroc.phys.ntu.edu.tw