台 積 黃 光 track
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最佳解答. 半導體的微影製程分為2大部分: 光阻覆蓋與顯影--->由clean track(日本機台)負責. 曝光--->由scanner(荷蘭機台)負責. 一般將這2個部門統稱為"黃光部門". https://tw.answers.yahoo.com |