上海微電子光刻機
上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱SMEE）是中國大陸半導體裝備製造商，主要生產半導體裝備、泛半導體裝備、高端智慧型裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務。 ,2023年12月20日 — 上海張江（集團）有限公司12月19日在集團微信公眾號「你好張江」發文稱，「作為國內唯—一家掌握光刻機技術的企業，上海微電子已成功研製出28nm光刻機。」. ,2024年9月18日 — 近日在中國社媒上，中國已能自製8奈米DUV光刻機以及掌握7納米光刻技術的說法甚囂塵上，但這些說法遭到業內人士駁斥。據指這場虛假榮耀的主要起因， ... ,2024年9月16日 — 上海微電子曾完成大陸首台氟化氬（ArF）光刻機研製，並實現產品流片，且在2023年初，市場就傳出上海微電子已在著手研發第二代浸沒式曝光機。 相關新聞 ... ,2024年9月16日 — 據相關報導，上海微電子此次披露的專利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點的極紫外輻射發生器（光源）主要包括腔體、靶材發生器、雷射發生器、收集鏡、電極 ... ,2024年9月16日 — 據相關報道，上海微電子此次披露的專利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點的極紫外輻射發生器（光源）主要包括腔體、靶材發生器、激光發生器、收集鏡、電極 ... ,2023年12月21日 — 外媒Tom's Hardware 報導稱，上海微電子成功研發28 奈米曝光機，意味著中國不斷縮小與全球晶片產業的技術差距，但目前不清楚上海微電子何時能量產這些設備，且 ... ,2024年9月17日 — 據相關報導，上海微電子此次披露的專利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點的極紫外輻射發生器（光源）主要包括腔體、靶材發生器、雷射發生器、收集鏡、電極 ...
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上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱SMEE）是中國大陸半導體裝備製造商，主要生產半導體裝備、泛半導體裝備、高端智慧型裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務。 https://zh.wikipedia.org 上海微電子據報成功研製出中國首台28納米光刻機
2023年12月20日 — 上海張江（集團）有限公司12月19日在集團微信公眾號「你好張江」發文稱，「作為國內唯—一家掌握光刻機技術的企業，上海微電子已成功研製出28nm光刻機。」. https://www.hk01.com 中國自製8奈米DUV光刻機？說法被駁斥
2024年9月18日 — 近日在中國社媒上，中國已能自製8奈米DUV光刻機以及掌握7納米光刻技術的說法甚囂塵上，但這些說法遭到業內人士駁斥。據指這場虛假榮耀的主要起因， ... https://www.ntdtv.com 大突破陸製DUV光刻機可生產65奈米以下晶片
2024年9月16日 — 上海微電子曾完成大陸首台氟化氬（ArF）光刻機研製，並實現產品流片，且在2023年初，市場就傳出上海微電子已在著手研發第二代浸沒式曝光機。 相關新聞 ... https://www.ctee.com.tw 申請專利：中國7納米晶片光刻技術取得突破
2024年9月16日 — 據相關報導，上海微電子此次披露的專利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點的極紫外輻射發生器（光源）主要包括腔體、靶材發生器、雷射發生器、收集鏡、電極 ... https://www.dw.com 申請專利：中國7納米芯片光刻技術取得突破
2024年9月16日 — 據相關報道，上海微電子此次披露的專利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點的極紫外輻射發生器（光源）主要包括腔體、靶材發生器、激光發生器、收集鏡、電極 ... https://tw.news.yahoo.com 進度成謎！傳上海微電子成功開發28 奈米曝光機
2023年12月21日 — 外媒Tom's Hardware 報導稱，上海微電子成功研發28 奈米曝光機，意味著中國不斷縮小與全球晶片產業的技術差距，但目前不清楚上海微電子何時能量產這些設備，且 ... https://technews.tw 陸「7奈米以下」晶片光刻技術獲專利！外媒：陸正迎頭趕上
2024年9月17日 — 據相關報導，上海微電子此次披露的專利主要涉及EUV 光源和光刻設備，其中重點的極紫外輻射發生器（光源）主要包括腔體、靶材發生器、雷射發生器、收集鏡、電極 ... https://www.ctee.com.tw |