上光阻機

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上光阻機 相關參考資料
Metal lift-off去光阻機- 凱爾迪科技股份有限公司

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上光阻機(Spin) - 凱爾迪科技股份有限公司

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光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務 - 東南科技 ...

為輔,目的視作去光阻用,首先介紹微影製程的流程,大致可以分為:(1)去. 水烘烤(2)塗底(3)上光阻(4)軟烤(5)曝光(6)曝光後. 烘烤(7)顯影(8)硬烤(9)濕式去光 ...

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去光阻剝離機-KED凱爾迪科技股份有限公司

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必須將基板表面上之光阻去除 - 弘塑科技股份有限公司

上圖為實例光阻清洗乾淨前後的比對照。 目前弘塑單晶圓PR stripper產品在各一線封裝大廠皆有量產機台,其中化學品的使用 ...

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晶圓旋轉光阻塗佈機-KED凱爾迪科技股份有限公司

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桌上型上光阻機-KED凱爾迪科技股份有限公司

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知識小百科

光阻劑的主要功能為在微影成像過程中將光罩上的圖形轉移至晶片上,當作蝕刻或離子植入時的保護層。 光阻塗佈機(Spin Coater). 主要是用來作光阻的塗佈。 旋轉塗佈法(Spin Coating)是最廣為用來上光阻的方法,通常的做法是將定量的阻劑塗佈在 ...

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首頁﹥ 商品介紹> 晶圓金屬、光阻去除清洗設備 - 信閎科技有限 ...

使用單片式晶圓連續傳送方式,進行晶片上之金屬、光阻去除與清洗之連續式生產設備. 2625918668440d45de04c1bc712dfc8e.jpg. □ 產品功能. 1.用於Wafer 金屬/ ...

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