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深紫外線(DUV), 波長λ≤248 nm ... 當光阻受DUV光線照射時，光阻會形成. 光酸 ..... 所應用的圖形尺寸範圍(μm). G-line. 436. 0.50. 水銀燈. H-line. 405. I-line. 365. ,所應用的. 圖形尺寸. (μm). G-line. 436. 0.50. 水銀燈. H-line. 405. I-line. 365. 0.35 to. 0.25. XeF. 351. XeCl. 308. 準分子雷. 射. KrF. (DUV). 248. 0.25 to. 0.15. ArF. , 依光源的不同，光阻劑可分為G-line(436nm)、I-line(365nm)與深紫外線 ... Ultra-Violet，近紫外光)、MUV(Mid UV；中紫外光)、DUV(Deep UV；深紫外 ...,種類，包含: G-line(436nm 曝光波長)，I-line(365nm 曝. 光波長)，KrF (248nm 曝光 ... 真空蒸鍍，其中被用來製作抗反射塗佈及DUV 薄膜的氟. 聚合物(Fluoropolymers) ... ,波長. (nm). 所應用的. 圖形尺寸. (μm). G-line. 436. 0.50. 水銀燈. H-line. 405. I-line. 365. 0.35 to. 0.25. XeF. 351. XeCl. 308. 準分子雷. 射. KrF. (DUV). 248. 0.25 to. ,g line（光源波長4360A）. ➢ i line （光源波長3650A） .... 更短的193nm DUV光源技術，已進入量產. 階段。 ... ◇DUV光學式的曝光技術，除了248nm的KrF外，即將導入. , ... 產生波長436nm的紫外光(G-line)，405nm的紫外光(H-line)、365nm的紫外光(I-line)。 ➤深紫外光(DUV：Deep Ultraviolet)：光源波長300nm以下， ..., 17、何謂DUV？ ... 18、I-line與DUV主要不同處為何? .... 至今可分4階段:它是由曝光光源波長劃分的;高壓水銀燈的G-line（438nm）, I-line（365nm）; ...,的g-line 紫外光及365nm 波段的i-line 紫外光以製作微. 米及次微米等級線路; 進展到利用KrF 氣體雷射( 波長. 248nm) 製作深次微米線路。製程發展到目前的ArF 氣體. ,Exposure. Visible 450nm ~ 800 nm. NUV. 350nm ~ 450 nm Hg-Arc G-line(436 nm) , I-line (365nm). MUV. 300nm ~ 450 nm. DUV. 100 nm ~ 300 nm KrF(248nm); ...

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