掃描式曝光機
研究生(外文):, Chia-Yu Hsu. 論文名稱: 建構掃描式曝光機台之覆蓋誤差模式與設計取樣策略之實證研究. 論文名稱(外文):, Step-and-Scan Overlay Errors Modeling, ... ,本論文主要在設計LED掃描式曝光機的光源模組，並實際製造、組裝與量測驗證，設計開發目標為：發散角度的半高半寬（半高全寬的一半）≤4.0°；照度均勻度（ ... ,2.2.3 掃描式曝光機（Scanner）. 曝光是微影製程中最重要的一環，其原理並不複雜，但是因為尺寸的微小以精度的要. 求，使得曝光製程在技術上變的相當困難， ... ,2016年9月21日 — 掃描式曝光機：因為圖形轉移的方式是先掃描再步進，因此又稱為「掃描機(Scanner)」如＜圖四(a)＞所示，在一個晶粒上方同時移動光罩基座與 ... ,2019年12月2日 — 步進式掃描光刻機的工作原理是，單場曝光採用動態掃描方式，即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動；完成當前曝光後，晶圓由工作檯承載步進至 ... ,2020年4月28日 — 在掃描式面鏡曝光機中, 曝光時掩模板和基板同時移動, UV光通過Slit以掃描方式投影曝光。在完成一個曝光區域後, 通過步進式的方式把基板移動到 ... ,Proximity printing. 投影呈像. Projection printing. 步進式曝光機. 步進機. Stepper. 掃描式曝光機. 掃描機. Scanner. 次微米製程. 奈米製程. 紫外光. UV. Ultraviolet. ,可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（英語：stepper）或掃描 ...
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本論文主要在設計LED掃描式曝光機的光源模組，並實際製造、組裝與量測驗證，設計開發目標為：發散角度的半高半寬（半高全寬的一半）≤4.0°；照度均勻度（ ... https://www.airitilibrary.com 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏
2.2.3 掃描式曝光機（Scanner）. 曝光是微影製程中最重要的一環，其原理並不複雜，但是因為尺寸的微小以精度的要. 求，使得曝光製程在技術上變的相當困難， ... https://ir.nctu.edu.tw 知識力 - Ansforce
2016年9月21日 — 掃描式曝光機：因為圖形轉移的方式是先掃描再步進，因此又稱為「掃描機(Scanner)」如＜圖四(a)＞所示，在一個晶粒上方同時移動光罩基座與 ... https://ansforce.com 什麼是步進掃描光刻機？ - 每日頭條
2019年12月2日 — 步進式掃描光刻機的工作原理是，單場曝光採用動態掃描方式，即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動；完成當前曝光後，晶圓由工作檯承載步進至 ... https://kknews.cc AMOLED與LCD都需要的核心工藝設備曝光機，有幾個了解 ...
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Proximity printing. 投影呈像. Projection printing. 步進式曝光機. 步進機. Stepper. 掃描式曝光機. 掃描機. Scanner. 次微米製程. 奈米製程. 紫外光. UV. Ultraviolet. https://www.ansforce.com 曝光機- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（英語：stepper）或掃描 ... https://zh.wikipedia.org |